7月7日，芯东西报道，6月30日，我国领先的半导体制造设备关键部件供应商和真空科学仪器设备生产商——中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称“中科仪”）向北交所提交的首次公开募股(IPO)申请正式获得受理。
中科仪有限公司诞生于2001年4月，其股份公司则是在2011年12月正式成立。公司注册地位于沈阳市，注册资本达到了1.72亿元人民币。此外，中科仪有限公司在2020年度和2023年度均荣获了国家“专精特新”小巨人企业的荣誉称号。
该公司的法定代表人物是中科仪的董事长郭东民，其控股股东为国科科仪控股有限公司，而实际控制权则掌握在中国科学院控股有限公司手中。
中国科学院的分支机构，中科仪公司，专业从事洁净真空和超高真空技术的研发，是我国在真空技术及真空科学仪器领域攻克难关的核心力量。这家企业不仅是国内出货量最大的干式真空泵制造商，尤其在集成电路领域，而且它是唯一一家在集成电路先进制程中实现批量生产的国产企业。此外，中科仪还独步国内，在清洁、中等和苛刻工艺条件下均能实现批量应用，这对于确保我国集成电路制造设备关键零部件的自主供应和供应链的稳定安全起到了至关重要的作用。
中科仪的核心产品涵盖了为集成电路晶圆生产以及光伏电池等广泛半导体产品制造所必需的干式真空泵，同时还包括了针对国家关键科技基础设施及科研需求的真空科学仪器与设备。
截至目前，中科仪生产的干式真空泵产品总销售量已突破四万台，特别在集成电路行业，其销售量更是超过了两万五千台。
依据市场预测的数据分析，2024年，中科仪生产的干式真空泵在集成电路行业的国内市场份额预计将达到12.72%，这一数据将打破欧美和日本企业在我国市场的长期垄断地位。与此同时，国内同行业的主要企业目前还处于小规模引进和应用的初期阶段。
其集成电路业务合作伙伴已突破百家，囊括了中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、晶合集成、华润微、上海积塔、广州粤芯、青岛芯恩等众多国内知名晶圆厂商，同时还包括北方华创、拓荆科技、中微公司等国内顶尖的半导体设备生产企业。此外，其产品已经通过了台积电、大连Intel、SK海力士的严格测试与验证，并实现了小规模的市场供应。
至2024年年底，中科仪对拓荆科技拥有1.54%的股权，对中科信息持有0.80%的股份，这两项股权的公允价值总计达到7.35亿元，这一比例在中科仪期末资产总额中占据了25.20%。
2014年7月16日，中科仪在中小企业股份转让系统（新三板）成功挂牌上市。到了2020年，该公司向上海证券交易所提交了科创板首次公开募股的申请。不过，在2021年5月，中科仪决定主动撤回该申请。截至目前，中科仪的最新市值已经达到了74亿元。
中科仪计划通过本次首次公开募股筹集8.25亿元人民币，这笔资金将主要用于推进干式真空泵的产业化进程、扩大高端半导体设备的生产规模和研发投入、以及新一代干式真空泵和大抽速干式螺杆泵的研发项目。
一、年收入超10亿，持股拓荆科技、中科信息
真空泵在半导体生产领域扮演着至关重要的角色。在集成电路产业所涉及的15个核心工艺流程中，有11个环节必须依赖真空泵来创造所需的真空状态，这一比例超过了70%。
集成电路制造工艺不断向更高水平发展，导致产品制造过程中的精细与复杂程度大幅增加，对洁净且真空的环境条件提出了更高的标准。因此，越来越多的生产步骤不得不在真空条件下完成，而且对于真空泵的数量和技术性能的要求也在不断提升。
当工艺技术发展到7纳米级别，EUV光刻技术便成为不可或缺的选项，与传统的光刻技术相较，EUV光刻技术对真空环境有着严格的要求，只能在真空中进行操作。
中国科学院的直属机构，中科仪自1958年设立以来，便致力于洁净真空与超高真空技术的探索与进步。该单位始终紧密围绕国家科技创新的核心需求，承担并推进了一系列关键科研项目。在真空技术研发领域，中科仪发挥着攻坚克难的主力作用，为国家科技创新贡献了重要力量。
在中科仪不断努力下，其研发成果正逐步转化为产业实践，这不仅提高了干式真空泵的国产化程度和市场份额，而且使中科仪逐渐成为我国半导体以及泛半导体行业核心零部件的主要供应商。
中科仪主营业务演变情况
2022年至2024年，中科仪的年度营收依次为6.98亿元、8.52亿元、10.82亿元；同期净利润分别为4.98亿元、6.00亿元、1.93亿元；而研发投入则逐年增加，分别为0.60亿元、0.85亿元、1.10亿元。
2022年至2024年间，中科仪的营业收入、净利润以及研发投入均发生了相应的变动（来源：芯东西制图）。
中科仪的净利润波动显著，这主要归因于截至2024年年底，公司分别持有A股上市公司拓荆科技1.54%的股权以及中科信息0.80%的股权。在报告期内，中科仪因持有上述上市公司股份而导致的公允价值变动损益以及通过出售股份所获得的投资收益，总计分别为4.62亿元、5.46亿元和0.08亿元，这些金额均被纳入了非经常性损益的范畴。
中科仪作为母公司所有者的资产，其扣除非经常性损益后的净利润在2022年达到了6186.11万元，而在2024年这一数字增长至8787.75万元，展现出了19.19%的复合增长率。
2022年至2024年，中科仪的毛利率依次为32.60%、33.02%和29.44%，这一数据低于同行业的其他上市公司。主要原因在于，拓荆科技、华海清科、北方华创和中微公司均专注于半导体核心设备的研发、生产和销售，它们在市场上的议价能力比中科仪更强，因此产品的毛利率也相对较高。此外，与中科仪在半导体产线应用场景上较为相似的上市公司是京仪装备，其毛利率与中科仪并无明显差距。
在中科仪的产品与服务分类中，干式真空泵成为其最主要的收入来源，这一比例在过去连续三年中呈现逐年上升的趋势。
2024年，其超过84%的收入来自集成电路应用领域。
中科仪自主研制出八大关键核心技术。到了2024年年底，该公司汇聚了158位研发精英，这一数字占到了员工总数的16.83%。此外，公司还拥有99项发明专利，以及30项软件著作权登记。同时，中科仪在真空技术领域发挥了重要作用，不仅负责起草，还作为主要参与者，共同制定了13项国家、行业和团体标准。
二、成功研发了三大系列共计近四十款干式真空泵产品，其中重要客户包括长江存储以及中芯国际。
2022~2024年，中科仪干式真空泵的销量超过2万台。
干式真空泵是半导体和泛半导体领域主流用泵。中科仪生产的干式真空泵产品以罗茨干泵为主，其研发的三大系列包含近四十款型号的干式真空泵产品，已实现大规模应用。这些产品能够与ASML、KLA、LAM Research、AMAT、TEL、HITACHI、北方华创、中微公司、拓荆科技、东方晶源等三十多家国内外知名设备制造商的数百种设备相匹配，充分满足了市场的多元化需求。
半导体制造过程中的严格工艺流程相当复杂，对干式真空泵的性能提出了极高的标准。中科仪公司成功研发了适用于这种严格工艺流程的产品，从而打破了国外厂商在此领域的长期垄断局面。该公司的干式真空泵产品能够满足14纳米级先进逻辑芯片和128层及以上3D NAND存储器工艺的生产需求，并且已经在中国众多领先的晶圆制造企业中实现了大规模的应用。
除了硅基半导体之外，该公司的干式真空泵产品同样适用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的生产过程，并且已经开始了大规模的供货。
在2022年、2023年以及2024年，中科仪的五位主要客户贡献的销售收入分别达到了当期总营收的42.11%、41.84%和44.06%，且没有任何一位客户的销售额占比超过了50%，亦未出现过分依赖少数客户的状况。
在过去的三年间，该公司的核心客户阵容强大，囊括了诸如长江存储、隆基绿能、中芯国际、青岛芯恩、中科院高能物理研究所、上海积塔半导体、长鑫科技以及北方华创等知名企业。
中科仪公司中持股比例超过5%的股东为国家集成电路基金，该基金直接掌握的与上述主要客户相关的权益状况具体如下：
同期，中科仪对前五家供应商的采购支出，分别达到了当期总采购额的35.97%、30.33%和34.83%，并未出现任何一家供应商的采购占比超过总额一半的情况，亦未对少数供应商产生过度依赖。
在报告所涵盖的时段内，中科仪的控股股东、实际控制者、董事会成员、监事会成员、高层管理人员以及持有5%以上股份的股东，均与相关供应商无任何关联，亦未对上述供应商的权益造成侵占。
三、背靠中科院，国家大基金为第二大股东
截至招股说明书签署之时，国科科仪在中科仪的总股份中占据了35.21%的份额，从而成为了中科仪的控股方。
国科控股，即中国科学院控股有限公司，全权掌握着国科科仪的全部股份。凭借对国科科仪的绝对控股，国科控股得以对中科仪施加35.21%的股份控制，从而成为中科仪的实际掌舵者。与此同时，中国科学院对国科控股也拥有100%的股权。
拥有中科仪公司5%以上股份的投资者涵盖：国家集成电路投资基金，其持股比例为19.73%；此外，浑璞五期基金也持有5.01%的股份。
本次发行前中科仪前十名股东情况
截至2025年6月9日，中科仪公司的董事、监事、高级管理层成员及其直系亲属所持有的股份比例，以及这些股份在招股说明书签署日期之前的锁定状态，具体详情如下：
其核心技术人员持有中科仪的股份情况如下：
结语：国外企业仍有先发优势，真空泵面临市场竞争加剧风险
这些国际知名的真空泵企业，其成立时间较早，业务范围广泛，产品线也相当全面，且在众多应用领域实现了大规模的应用。例如，Edwards和Ebara等公司，凭借其在真空技术领域的丰富研发和制造经验，已经积累了丰富的产品设计和技术工艺。这些企业已经将产品成功引入到国内外的主要设备厂和晶圆厂，因而占据了先机。
中科仪生产的干式真空泵在集成电路行业应用方面，在众多国内企业中占据了无可争议的领先位置。尽管近年来得益于国家关键科技项目的扶持，以中科仪为首的国内企业在集成电路制造技术方面取得了突破并推进了产业化进程，然而，鉴于我国相关产业启动较晚、发展规模不大、产业根基相对单薄，与海外知名对手相比，在品牌影响力、产品大规模应用等方面仍存在明显不足。
除此之外，在规模较大的晶圆厂挑选零部件供应商的过程中，它们往往更倾向于选择那些其真空泵产品已经在自身生产线大规模使用，或者已经在其他顶尖晶圆厂的生产线上得到验证的供应商。
在报告所涵盖的时段内，中科仪所售出的干式真空泵主要服务于集成电路及光伏产业。与此同时，国际上的领先企业所提供的产品种类繁多，其应用范围广泛，涉及半导体、泛半导体、工业制造以及生物医药等多个行业。然而，与这些国际企业相比，中科仪的产品应用领域相对较窄，亟需扩大覆盖面，同时也要应对市场竞争不断加剧所带来的挑战。
