半导体前端工艺概述:FEOL关键环节与晶体管结构演进历程

芯片制造技术在性能提升、能耗控制和稳定性保障方面扮演着关键角色,它是半导体行业技术门槛最高的部分之一。目前,业界正采用多样化的创新策略来应对这些挑战,并且各家公司都提出了自己的应对措施。此外,这些解决方案的未来发展趋势也引起了广泛的关注。

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创新技术突破瓶颈

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半导体产业面对当前挑战,采纳了高K金属栅极(HKMG)技术,此技术已替代了过往的多晶硅/二氧化硅栅极结构,并显著减少了栅极的漏电流。此技术革新突破了传统制造工艺的束缚,为芯片性能的提升打下了坚实的基础。与此同时,新的技术架构持续涌现,为整个行业注入了新的生机,并进一步拓展了其发展空间。

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企业特色工艺方案

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英特尔于20A工艺节点上推出了2纳米制程技术,该技术融合了PowerVia技术,实现了Power Rail布线向晶圆背面的转移。这一创新显著降低了70%的电压损耗,显著提升了芯片的性能和能源效率,进一步彰显了英特尔在技术领域的领先地位。三星沿袭了GAA技术的演变轨迹,对3nm GAA工艺进行了不断的优化和升级,其目标清晰,即通过第二代3nm工艺达到降低功耗50%,提升性能30%,以及缩小面积35%。

成熟工艺持续适用

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在28纳米及更先进的制程技术上,设计技术协同优化(DTCO)的应用效果显著,特别是在物联网、汽车电子和工业控制等众多领域,其发展前景广阔。中芯国际(SMIC)在28纳米和14纳米制程上持续进行优化和升级,同时,经过改良的12纳米制程也已进入试验生产阶段。该产品通过优化晶体管设计以及采用低电阻互连技术,其性能比14nm标准工艺提升了15个百分点;与此同时,能耗下降了20个百分点;这一成果实现了在性能、能耗及尺寸三者间的理想平衡。

终端需求带动分化

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不同终端设备对芯片的要求各不相同,这一特点推动了芯片制造商在定制化工艺技术方案上的研发投入。特别是在智能手机芯片领域,核心处理器采用了最为先进的工艺技术,而外围芯片则采用了从28nm到16nm的多种工艺,目的是在成本和功耗之间达到最理想的平衡。汽车电子化的持续发展推动了车用半导体市场的增长势头,尽管如此,预计工艺节点将保持在28nm至16nm的范围内,性能的增强主要得益于架构的优化。与此同时,智能音箱等AIoT产品通过应用22nm至12nm的工艺技术,成功实现了性能和能耗的均衡优化。

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封装技术成新方向

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摩尔定律的有效区间正逐步逼近其边界,芯片生产的微型化发展遭遇了物理法则的限制以及经济层面的难题,与此同时,先进的封装技术已获得广泛认可,并成为业界的主流发展趋势。运用2.5D/3D封装技术,系统性能得到了显著提升;JCET公司生产的XDFOI Chiplet高密度多维异构集成系列工艺已顺利进入批量生产阶段;此工艺已在众多关键领域得到广泛运用;这些成就共同促进了整个行业的迅猛发展。

行业未来充满挑战

众多新型技术虽已实现显著进展,然而半导体行业在未来的走向上仍存在众多不确定因素。例如,高端制造技术的成本不断攀升,物理瓶颈逐渐凸显,这些问题均需行业内部通力合作来解决。至于未来能否通过进一步的创新保证持续增长,这一点值得关注。那么,在大家的观点中,半导体行业未来哪种创新技术被认为最具发展前景?欢迎各位在评论区留言交流,并给予点赞支持。

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